返回 發(fā)布日期: 2025.05.30
在微電子、光刻、生物制藥等高精尖潔凈室中,超低發(fā)塵性是無塵擦拭布不可妥協(xié)的首要性能指標(biāo)。它直接關(guān)乎潔凈室環(huán)境穩(wěn)定性和產(chǎn)品良率,是抵御微粒污染的第一道防線。
實(shí)現(xiàn)超低發(fā)塵性,需從材料本源與精密制造雙重把控:
嚴(yán)苛驗(yàn)證體系是性能的保障:依據(jù)IEST-RP-CC004.3標(biāo)準(zhǔn),通過滾筒測試(Helmke Drum)模擬實(shí)際擦拭動態(tài),精確量化不同粒徑(如≥0.3μm, ≥0.5μm)粒子的釋放量;液體顆粒計(jì)數(shù)器(LPC)測試則評估在溶劑作用下的溶出粒子。Class 1級(每平方米釋放粒子數(shù)極低)是半導(dǎo)體等超凈環(huán)境的入門門檻。
超低發(fā)塵性并非孤立指標(biāo),需與化學(xué)純凈度、吸液效能協(xié)同平衡。它是潔凈室擦拭布技術(shù)壁壘的體現(xiàn),更是高端制造領(lǐng)域維持納米級潔凈環(huán)境的戰(zhàn)略基石。選擇擦拭布,即選擇對微粒污染零容忍的承諾。